近年來，隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平不斷提高，聚合物材料和微電子器件廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域及其產(chǎn)品。ESD是微電子器件的主要威脅。ESD嚴(yán)重影響了微電子器件的質(zhì)量，威脅著器件的整體工作。為了保護(hù)微電子器件，需要從設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、運(yùn)輸?shù)冉嵌葘?duì)電子器件進(jìn)行靜電保護(hù)。

ESD(Electro-Staticdischarge）即“靜電釋放”。靜電是指物體表面所帶過?；虿蛔愕南鄬?duì)靜止不動(dòng)電荷，可能是正電荷也可能是負(fù)電荷。由于“過剩”或“不足”，靜電荷處于不平衡狀態(tài)，容易發(fā)生轉(zhuǎn)移。

ESD包括四個(gè)階段。第一階段是電荷的產(chǎn)生。電荷的產(chǎn)生是由摩擦或感應(yīng)引起的，這個(gè)過程叫靜電起電。第二階段是電荷的轉(zhuǎn)移。電荷的轉(zhuǎn)移是由于這兩個(gè)物體的電勢(shì)不同。當(dāng)兩個(gè)物體的電勢(shì)平衡時(shí)，電荷轉(zhuǎn)移停止。第三階段，是電荷的累積。靜電荷可以通過中和或泄漏的方式衰減。當(dāng)起電的速度大于衰減時(shí)，電荷會(huì)累積。例如，當(dāng)人體與大地絕緣時(shí)，人體的靜電荷可高達(dá)1.5KV-35KV。第四階段，快速釋放。具有不同靜電電位的物體，由于直接接觸或靜電感應(yīng)而引起物體間的靜電電荷轉(zhuǎn)移，也稱為靜電放電。這是在靜電場(chǎng)的能量達(dá)到一定程度后，擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現(xiàn)象，也可能是利用空氣中的帶電離子在兩個(gè)物體之間進(jìn)行傳導(dǎo)形成電流，出現(xiàn)小型雪崩效應(yīng)。

ESD防護(hù)的四個(gè)方向

作業(yè)人員：人是靜電的最大來源。人員的走動(dòng)、作業(yè)都會(huì)產(chǎn)生靜電，在與微電子器件接觸或靠近時(shí)都可能產(chǎn)生靜電放電。要減少人員的因素，必須穿著防靜電衣物、手套與防靜電鞋，佩戴防靜電手環(huán)/腳環(huán)并可靠接地。養(yǎng)成良好的作業(yè)習(xí)慣，在無(wú)防靜電措施或措施不完備的情況下遠(yuǎn)離靜電敏感產(chǎn)品。

設(shè)備：為了提高企業(yè)的生產(chǎn)能力，自動(dòng)化設(shè)備被應(yīng)用在許多過程中，這些設(shè)備的運(yùn)行將產(chǎn)生大量的靜電。在微電子器件的加工中，各種過程都會(huì)釋放靜電，大量微電子器件會(huì)失效。所有設(shè)備、儀器、作業(yè)臺(tái)、凳子、貨架都需要可靠接地。移動(dòng)的周轉(zhuǎn)小車等也要通過安裝靜電釋放鏈接地。

材料：操作環(huán)境中使用抗靜電/導(dǎo)靜電材料做成工作臺(tái)面、周轉(zhuǎn)/包裝箱。

環(huán)境：靜電的產(chǎn)生與環(huán)境濕度成正比，即濕度越大靜電的產(chǎn)生越少。但高濕度的環(huán)境容易造成生銹、腐蝕，綜合考慮，一般電子生產(chǎn)車間濕度保持在30%-70%RH。另外，也可以使用離子風(fēng)扇來中和靜電荷。