微電子器件靜電防護(hù)的原因及困難
微電子器件業(yè)內(nèi)稱之為靜電敏感器件,一般而言,場效應(yīng)器件、雙極器件等微電子器件的抗靜電能力更加弱,人體或者器件本身的靜電都足以對(duì)器件造成損傷,如果不加以防護(hù),微電子器件很可能因?yàn)殪o電受損,導(dǎo)致器件失去本身的功能,影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。而且通常情況下,微電子器件對(duì)靜電放電是非常敏感的,由于體積小,在外觀上很難判斷微電子器件是否失效,唯一的方式就是通過技術(shù)測量,檢測其具體的參與,判斷微電子器件是否完好。因此,提高微電子器件在包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存、使用等方面的防靜電措施至關(guān)重要。
微電子器件防護(hù)難點(diǎn):
隱蔽性:人體不能直接感知靜電除非發(fā)生靜電放電,但是發(fā)生靜電放電人體也不一定能有電擊的感覺,這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2 - 3 KV。
潛在性:有些電子元器件受到靜電損傷后的性能沒有明顯的下降,但多次累加放電會(huì)給器件造成內(nèi)傷而形成隱患。
隨機(jī)性:電子元件什么情況下會(huì)遭受靜電破壞呢?可以這么說,從一個(gè)元件產(chǎn)生以后,一直到它損壞以前,所有的過程都受到靜電的威脅,而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)動(dòng)性。
復(fù)雜性:靜電放電損傷的失效分析工作,因電子產(chǎn)品的精、細(xì)、微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)錢,要求較高的技術(shù)并往往需要使用掃描電鏡等高精密儀器。即使如此,有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別,使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其他失效。這在對(duì)靜電放電損害未充分認(rèn)識(shí)之前,常常歸因于早期失效或情況不明的失效,從而不自覺地掩蓋了失效的真正原因。
靜電的特點(diǎn)是靜電防護(hù)要應(yīng)對(duì)的難題,因微電子器件身的特點(diǎn),靜電防護(hù)更加困難。
ULiESD專注于靜電防護(hù)的研究,運(yùn)用無線技術(shù),新一代靜電監(jiān)控設(shè)備,對(duì)靜電進(jìn)行系統(tǒng)、全面監(jiān)控防范。全方面進(jìn)行靜電防護(hù)