ANSI/ESD S20.20標(biāo)準(zhǔn)要求
發(fā)布時間：2020-08-13 15:31
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一、管理要求
人員培訓(xùn)計(jì)劃
2、培訓(xùn)內(nèi)容包括ESD基礎(chǔ)知識和相關(guān)工位的防護(hù)要求；
3、培訓(xùn)的方式、頻率、記錄和記錄存放的場所需在人員培訓(xùn)計(jì)劃中明文規(guī)定；
4、培訓(xùn)的效果要有明確的判定方法。
ESD控制物品導(dǎo)入計(jì)劃
1、ESD控制物品需要符合ESD防護(hù)體系的整體要求；
2、測量規(guī)范和技術(shù)指標(biāo)需要滿足S20.20的標(biāo)準(zhǔn)；
3、物品導(dǎo)入通常在選購初期階段進(jìn)行, 可通過審核產(chǎn)品規(guī)格書、第三方實(shí)驗(yàn)室的評估報告或內(nèi)部實(shí)驗(yàn)室評估來完成；
4、對于已經(jīng)投入使用的物品，可以根據(jù)符合性驗(yàn)證數(shù)據(jù)分析其符合性
ESD符合性驗(yàn)證計(jì)劃
1、ESD符合性驗(yàn)證的目的是驗(yàn)證已建立的ESD防護(hù)體系的持續(xù)符合性；
2、驗(yàn)證工作是確認(rèn)相關(guān)測量項(xiàng)目，技術(shù)指標(biāo)和測試頻率符合本計(jì)劃的規(guī)定；
3、需明確測量規(guī)范及有效測試設(shè)備；
4、記錄是體系符合技術(shù)要求的依據(jù)
二、技術(shù)要求
接地/等電位連接系統(tǒng)
為了確保ESDS 物品和可能與ESDS 物品接觸的操作人員及導(dǎo)體（如：推車）處于等電位水平，要求這些物品必須接地或等電位連接。
EPA(ESD防護(hù)區(qū))
所有涉及未使用防護(hù)包裝的ESDS 物品、部件、組件和設(shè)備的操作都必須在明顯區(qū)域劃分的EPA內(nèi)執(zhí)行。
1、人員:只有完成了ESD 管控體系規(guī)定培訓(xùn)的人員，才能進(jìn)入EPA 作業(yè)。未完成培訓(xùn)的個人進(jìn)入EPA 時必須有完成培訓(xùn)的人員陪同。
2、構(gòu)成:EPA 可由一個單獨(dú)的工作臺、整個房間、整棟建筑或其它規(guī)劃的區(qū)域構(gòu)成。
3、絕緣材料:①、所有非必用的絕緣材料，如咖啡杯、食品包裝和個人物品應(yīng)從EPA 移出。
②、體系應(yīng)對如何緩解制程中必用的絕緣材料可能引起的靜電電場感應(yīng)導(dǎo)致破壞的方法給予說明。
4、孤立導(dǎo)體:如果一個與ESDS物品接觸的導(dǎo)體材料不能有效與接地或等電位連接系統(tǒng)連接時，則需保證該導(dǎo)體和ESDS 物品之間的電位差小于35伏。
防護(hù)包裝
執(zhí)行單位需根據(jù)ANSI/ESD S541 標(biāo)準(zhǔn)，或遵循客戶合同、訂單、圖紙或其它指定文件，對EPA內(nèi)和EPA外的防護(hù)包裝明確具體要求。
標(biāo)識
ESDS 物品、組件或防護(hù)包裝的標(biāo)識應(yīng)符合客戶合同、訂單、圖紙或其它指定文件規(guī)定的要求。
