半導(dǎo)體行業(yè)ESD防護(hù)知識(shí)
發(fā)布時(shí)間：2020-08-18 15:53
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半導(dǎo)體行業(yè)ESD預(yù)防基礎(chǔ)知識(shí)要點(diǎn)：
靜電產(chǎn)生的方式：接觸-分離；摩擦；剝離；傳導(dǎo)。
安全第一：防靜電措施是否與安全措施相沖突。
防護(hù)手段：接地-等電位連接； 靜電源控制；防靜電包裝。
關(guān)注的要點(diǎn)：產(chǎn)品靜電敏感度要求；防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)匹配度；符合性驗(yàn)證。
什么時(shí)候用金屬材料，什么時(shí)候用靜電耗散材料呢？
金屬材料：
1.產(chǎn)品處于等電位的情況下可直接使用金屬材料。
2.單顆產(chǎn)品不會(huì)與金屬材料直接接觸的情況下可以使用金屬材質(zhì)的材料。
因整條產(chǎn)品加工過(guò)程框架，晶圓使用非防靜電膜，且有些設(shè)備中無(wú)法配置離子風(fēng)機(jī)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生靜電累積，那除了加裝離子風(fēng)機(jī)外我們會(huì)選用一些導(dǎo)電快的材料，讓靜電快速導(dǎo)走。
如果靜電耗散材料可以嗎？
可以，但靜電消散很慢，會(huì)有靜電累積的風(fēng)險(xiǎn)，在切割時(shí)會(huì)產(chǎn)生放電，對(duì)產(chǎn)品有很大的ESD損傷風(fēng)險(xiǎn)。
靜電材料：切割分離后單顆產(chǎn)品，出貨包裝產(chǎn)品，可以使用靜電材料。
材料用錯(cuò)會(huì)有什么風(fēng)險(xiǎn)？
因切割分離后的產(chǎn)品比較敏感，抗靜電能力比較弱，如果用金屬材質(zhì)會(huì)因?qū)щ娺^(guò)快造成產(chǎn)品ESD損傷（因與產(chǎn)品直接接觸后會(huì)迅速產(chǎn)生放電現(xiàn)象），使用靜電材料會(huì)有限壓作用，與產(chǎn)品接觸后降低產(chǎn)品ESD損傷風(fēng)險(xiǎn)。
半導(dǎo)體行業(yè)ESD防護(hù)手段
接地—等電位連接：與敏感器件接觸的導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)等電位連接，避免因?qū)w帶靜電發(fā)生放電。
靜電源控制：絕緣材料的靜電通過(guò)接地和等電位連接無(wú)法消除，因此必須對(duì)敏感器件周邊進(jìn)行靜電源控制。
防靜電包裝：運(yùn)出ESD防護(hù)區(qū)的器件必須使用防靜電包裝，以防外界靜電源的影響。
